本文標(biāo)題："微機(jī)械加工技術(shù)-微觀焊接分析顯微鏡"
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微機(jī)械加工技術(shù)-微觀焊接分析顯微鏡
新的科學(xué)技術(shù)研究應(yīng)用領(lǐng)域，并迅速產(chǎn)業(yè)化和規(guī)模化。回時微
機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展將推進(jìn)人類認(rèn)識和改造客觀世界的能力。因此微機(jī)
電系統(tǒng)在21世紀(jì)倍受人們的關(guān)注，已經(jīng)成為21世紀(jì)制造業(yè)的重要方
面之一。微機(jī)電產(chǎn)業(yè)也被認(rèn)為是朝陽產(chǎn)業(yè)，是繼微電子之后又一個
對國民經(jīng)濟(jì)和軍事具有重大影響的技術(shù)領(lǐng)域，是新世紀(jì)世界經(jīng)濟(jì)新
的增長點。它現(xiàn)實的和潛在的應(yīng)用將會給國民經(jīng)濟(jì)和國家安全帶來
巨大影響，將成為21世紀(jì)提高國家軍事能力的重要技術(shù)途徑。
微機(jī)電系統(tǒng)的起源
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)一詞來源于1989年美國國家自然科學(xué)基金會
(NSF)主辦的微機(jī)械加工技術(shù)討論會的總結(jié)報告“Micro—electron
Technology Applied to Electrical Mechanical System”，本
次會議中微機(jī)械加工技術(shù)(Micromaching Technology)被NSF和美國
國防部先進(jìn)技術(shù)署(DARPA)確定為美國急需發(fā)展的新技術(shù)，從此作
為Micro．Electro—Mechanical System縮寫詞的MEMS被廣為流傳
。
隨著微機(jī)械加工技術(shù)的內(nèi)容不斷擴(kuò)充，水平不斷提高，
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