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本文標(biāo)題:"SEM電子顯微鏡的原理簡介-儀器常識"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2013-7-27 5:35:37

 SEM電子顯微鏡的原理簡介-儀器常識

 
SEM
的主要工作原理為電子鎗透過熱游離或是場發(fā)射原理產(chǎn)生高能電子束,經(jīng)過電磁透鏡組后,可以將電
子束聚焦至試片上,利用掃瞄線圈偏折電子束,在試片表面上做二度空間的掃瞄
當(dāng)電子束與試片作用時,會產(chǎn)生各種不同的訊號,如二次電子、背向散射電子、吸收電子、歐杰電子、特征X光??等。在
 
一般掃瞄式電子顯微鏡偵測系統(tǒng)上,主要為偵測二次電子及背向散射電子成像,這
些訊號經(jīng)過放大處理后即可成像觀察

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