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本文標題:"覆層厚度測量的方法-電容技術(shù)測量覆層厚度"

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覆層厚度測量的方法-電容技術(shù)測量覆層厚度

 
電容法適用予金屬基體上非導電的
 
薄覆層厚度的測量,如鋁管材和鋁容器上的環(huán)氧漆等。微波法可用來
測量介質(zhì)基體上的介質(zhì)覆層厚度,特別是象測量石英玻璃上的鉻鍍
層厚度,測量厚度可達0.01μm。熱電勢法適合于鐵基體上鎳鍍層
厚度的測量.石英振蕩法特別適合予沉積層沉積過程中的厚度監(jiān)
控。輪廓儀法用于測量lum以下厚的覆層有很高的準確度。機械
法象在油漆涂覆過程中厚度檢測也有其特別簡便之處.因此,
在一定的范圍內(nèi)得到應用.
 
    電壓擊穿法曾被用于測量鋁陽極氧化膜厚度,但由于屬破壞
法、可靠性低,而被渦流法無損測量所取代。超聲波法測厚可用
來測量較厚的覆層,但更普遍的是用于板材和管材等厚度的測
量;對于較薄的覆層厚度,如在100μm以內(nèi)厚的覆層尸測量準確
度很低,甚至根本不能進行測量.總之,這些測匣法應用都很少,
因而不作專門的介紹。
 
電容法覆層厚度測量
當基體材料為鐵磁材料,而且其磁導率變化范圍較大,用磁
法測量覆層厚度就不適宜;同樣當基體材料為導電材料時,其電
導率變化范圍也較大,且基體厚度彼薄,如鋁箔,也不宜于用渦
流法來測量其覆層厚度。在這種情況下,利用電容法來測量其非
導電覆層厚度是很適宜的。
    電容法覆層厚度測量實際上是以規(guī)定大小的金屬片作為測
頭,將它放在有非導電覆層的被測金屬件上,測頭上金屬片作為
電容的一極,而被測件基體金屬作為電容的另一極,兩金屬片間
由于非導電覆層的存在而形成電容,其容量大小是隨覆層厚度的
不同而變化的.
 
分度曲線,從而能快捷地確定出覆層厚度。
 
    在電容法覆層厚度測量中,當測頭置于被測件邊緣處,或表
面曲率變化,或測頭磨損以及溫度、濕度等變化都會對被測電容
量產(chǎn)生一些影響;由于電容法測量頻率較高,外電磁場的干擾,
以及基體電導率、磁導率變化帶來電阻和電感量的某些變化,也
將對測量產(chǎn)生一定的影響,都應加以注意和消除。
 
    利用電容法測量覆層厚度,覆層愈薄,測量靈敏度愈高.電
容法測量覆層厚度的范圍為lOO微米以內(nèi),可測的最大厚度可達
350微米,通常測量誤差是±5%.
 

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