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本文標題:" 精細零件測量用便攜式光學顯微鏡制造廠商"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2014-2-26 13:24:55

 精細零件測量用便攜式光學顯微鏡制造廠商

 
 
    顯微干涉輪廓儀結構的主要要求,是放被檢零件的工作臺和干涉
頭聯結的剛性要好,必須保證干涉條紋對振動的靈敏度為最小。在調
整機構方面,三個相互垂直方向精密移動被檢表面13和繞其兩軸轉動,
要求有很靈巧的機構設計。另外,為了使兩路相干光束的光程相等,
沿光軸方向精密移動物鏡和棱鏡也值得注意。
 
    帶有光譜分光鏡的顯微干涉輪廓儀為了檢驗外圓磨表面的微觀幾
何形狀(其加工痕跡是不規則的),
 
    小型光譜分光鏡或光譜目鏡代替干涉顯微鏡的目鏡,并在被檢表
面的像平面上,安放一個狹縫光闌。按這種光學系統設計了顯微干涉
輪廓儀
 

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