本文標題："光學量測原理顯微鏡測量微型元件三維曲面輪廓"
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光學量測原理顯微鏡測量微型元件三維曲面輪廓
應用條紋投射法與三角攝影量測原理測量微型元件三維曲面輪廓。
藉由液晶投影機投射格雷氏編碼與馀弦亮度分佈之結(jié)構(gòu)光至微型物件表面，
經(jīng)攝影機采集影像并經(jīng)亮度線性校正后，可由此兩者還
原出絕對相位。以映射函數(shù)法完成量測系統(tǒng)校正后，
即可將待測物的絕對相位轉(zhuǎn)換為精確的輪廓高度。使
用立體顯微鏡 2X 放大率時，量測范圍為 4 ×3 mm，
其輪廓量測誤差標準差約為 5μ m；若使用 16X 放大
率時，其量測范圍約為 500 ×375μ m，其輪廓量測誤
差標準差約為 0.6μ m。
關鍵詞：三角量測法、格雷氏編碼、相位移、映射函數(shù)
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